Технологии

Долгожданный отечественный лазер для литографии появится не ранее 2026 года

Начальник отдела Минпромторга России Василий Шпак в беседе с CNews сообщил, что отечественный лазерный аппарат для литографии будет изготовлен после 2026 года. Это сделает нашу страну третьей в мире, способной выпускать такие устройства: на сегодняшний день их производством занимаются только японская GigaPhoton и американская Cymer.

Группа компаний "Лассард" уже сконструировала два опытных образца такого лазера. Их тестирование начнется в грядущем году, а через год, в 2026 году, намечено начало серийного производства.

Отечественный лазер будет применяться в литографе, позволяющем изготавливать чипы размером 350 нм, однако в перспективе планируется переход на технологический процесс 130 нм. Более того, ведутся разработки по освоению более тонких техпроцессов. "Лазер дает возможность изменять характеристики в сторону более тонкой топологии. Более того, скажу, что мы уже ведем перспективные работы, разрабатывая материалы и заказывая исследования для установок 90 нм и 65 нм", - сказал Василий Шпак.

Антивоенное этническое движение «Новая Тыва» (New Tuva), Общество с ограниченной ответственностью «Процесс 2021», Первый отдел признаны в РФ иностранными агентами.
Автор: Павлова Ольга
Источник: www.ixbt.com
📅 2-10-2024, 12:41
Читайте также

Введите комментарий:

Последние новости
Популярное
Работа у нас